Прикладна електроніка
Для отримання покриттів з необхідними характеристиками часто необхідно забезпечити додатковеіонне бомбардування поверхні плівки, що росте. Для цього використовується подача на підкладкуелектричного зміщення, що прискорює іони.Імпульсне високочастотне зміщення дозволяє розширити можливості керування процесом порівняно з постійним зміщенням. p align="justify"> Боротьба з утворенням катодних плям на поверхні оброблюваної деталі (підкладки) також актуальна, як і для катода магнетронної розпилювальної системи. Для вирішення таких завдань призначені джерела серіїAPEL-SB. Серія включає три типи уніполярних імпульсних джерел живлення, що відрізняються максимальною вихідною напругою та вихідною потужністю.
Крім того, в серію входить набір потужних джерел живлення з потужністю до 100 кВт, що формують біполярні імпульси. Джерела побудовані на основі універсальних силових блоків потужністю 10 кВт, які можуть підключатися послідовно і паралельно. Це дозволяє в широкому діапазоні змінювати вихідні параметри джерела живлення.
Найважливішими характеристиками, що визначають якістьджерела живлення для подачі потенціалу зміщення на підкладку, ми вважаємо:
1. Ефективнедугогасіння. При напиленні покриттів на підкладці можливе утворення уніполярних дуг, що виникають, наприклад, за рахунок заряду накопичуваного на діелектричних включеннях. Уніполярна дуга, що виникла, може зіпсувати напилюване покриття, тому швидкість реакції системи дугопригнічення повинна бути дуже високою (порядку мікросекунди). За цей проміжок у дузі виділяється енергія у кілька десятків міліджулів. При такому енерговиділенні розігріву локальної точкиповерхні катода до температур термоемісії ще немає, тому якщо через певний час на підкладку знову подається потенціал зміщення.
2. Можливість роботи вімпульсному режимі. У технологіях формування покриттів, особливо при нанесенні "примхливих" плівок ефективного дугогасіння мало. так як необхідно не тільки правильно реагувати на дугу, що виникла, але і усувати причини її виникнення на протязі процесу напилення. Якщо на магнетрон подавати не постійне, а імпульсне напруження, то зі збільшенням частоти імпульсів ймовірність утворення дуг різко падає, а при частотах вище 50 - 60 кГц дуги не утворюються зовсім.
3. Для більш ефективної боротьби з дугами джерело живлення може бути біполярним. У такому джерелі в паузі між імпульсами негативної напруги на катод магнетрону подається невелика позитивна напруга. При цьому на підкладку тече електронний струм, що знімає заряд із діелектричних включень.Біполярне джерело живлення дозволяє напилювати діелектричні покриття уникаючи утворення дуг на підкладці.
4. Наявність різних режимів стабілізації та зв'язок із генератором плазми. Для виконання складних процесів джерела живлення зміщення мають додаткові канали синхронізації, що дозволяють включати дані прилади в загальну систему електроживлення. Такий підхід вже показав свою ефективність при синхронізації джерел зсуву з імпульсними джерелами живлення магнетронних розпилювальних систем.
5. Можливість дистанційного керування. У сучасних технологічних установках для нанесення багатошарових покриттів на підкладки великої площі може використовуватися одночасно більше десятка магнетронів та значна кількість інших пристроїв, тому наявність мікроконтролерногоуправління найчастіше є обов'язковим.
Але на основі власного досвіду, спілкування з колегами нами розроблено кілька серій джерел живлення для магнетронних розпилювальних систем:
APEL-SB-PDC - серія уніполярних джерел живлення, що включає джерела малої потужності 1.5, 3 і 5 кВт, із середньою потужністю 10 і 12 кВт, а також потужні модульні системи живлення з вихідною потужністю від 20 до 100 квт. Блоки живлення даної серії працюють на постійному струмі та в уніполярному імпульсному режимі, з частотою формування імпульсів до 100 кГц.
APEL-SB-BP - нова серія біполярних джерела живлення включає ряд джерел з малою вихідною потужністю 1.5, 3 і 5 кВт, із середньою потужністю 10 і 12 кВт, а також потужні модульні системи живлення з вихідною потужністю від 20 до 100 квт. Блоки живлення даної серії працюють на постійному струмі та в біполярному асиметричному імпульсному режимі, з частотою формування імпульсів до 100 кГц.
Біполярне джерело живлення потужністю 5 кВт
Серія: APEL-SB-5BP
Запобігання дугам за допомогою біполярного живлення. Вихідна напруга в джерелах цієї серії від 330 до 1500 В