Мікрофокусна рентгенівська трубка
Винахід відноситься до галузі рентгенотехніки, а більш конкретно до мікрофокусних керованих джерел рентгенівського випромінювання. Мета винаходу - розширення можливостей керування. Для цього, між керуючим сітковим електродом 4 і анодним вузлом 10, 11, 12 розташовані прискорювальний електрод 7 і дві циліндричні довгомірні імерсійні лінзи 8, 9. 1 іл.
РЕСПУБЛІН (19) (11) 1 0 А1 (я) 4 Н 01 J 35/14
ПО ВИНАХОДАМ І ВІДБУТАННЯМ
До СВІДОЦТВОМ (21) 4341362/24-25 (22) 30.10.87 (46) 23.05 ° 89. Бюл. У 19 (72) Г.H.Ïåòðîâ, Г.А.(Цукін, В.П.Кфанов, Ф.І.Рузанов та С.А.Іванов (53) 621.386.2(088.8) (56) Патент СРСР. У 664585, кл.Н 01 J 35/08, 1970.
Викладена заявка ФРН У 2653547, кл. Н .01 J 35/08, 1977. (54) МІКРО ОКУСНА РЕНТГЕНІВСЬКА
ТРУБКА (57) Винахід відноситься до рентгенотехніки, а більш конкретно до керованих мікрофокусних джерел рентгенівського випромінювання. Мета винаходу вЂ" розширення воеможностей управління. Для цього між керуючим сітковим електродом 4 і анодним вузлом 10 вЂ" 12 розташовані пришвидшуючий електрод 7 і дві циліндричні довгофокусні імерсійні лінзи 8 і 9, I іл.
Винахід відноситься до рентгенотехніки, а саме мікрофокусних керованих джерел рентгенівського випромінювання.
Мета винаходу вЂ" розширення можливостей управління.
На кресленні показано мікрофокусну рентгенівську трубку, розріз.
Мікрофокусна рентгенівська. трубка містить. вакуумний балон) ка-. тодний вузол, утворений катодом 2, електродом 3 попереднього фокусування, керуючим сіточним електродом 4 на тримачі 5 та електричними висновками б, що прискорює електрод
7, фокусуючу систему з двох ци- . ліндричних довгофокусних імерсійних лінз 8 і 9, анодний вузол,утворений анодним тілом 10 і герметично закріпленим у ньому вихідним берилієвим вікном ll з простірною мішенню 12 з тугоплавкого металу, наприклад, вольфраму, і розділові ізолятори 13, що відокремлюють. один від одного прискорює електрод 7, імерсійні лінзи 8,9 і анодне тіло IO u забезпечують вакуумну щільність відповідної частини рентгенівської трубки.
Відстань між імерсійними лінзами 8 та 9 вибрано в діапазоні
0,1 вЂ" 1,0 діаметра отвору в лінзах 8 і 9. Нижня межа даного діапазону визначається можливістю електричного пробою між лінзами
8 і 9. Верхня межа діапазону встановлена на підставі того, що при більшому одиниці відношенні відстані між лінзами 8 і 9 до діаметра отвори в них швидко падає ефективність електростатичної фокусуючої системи, утвореної лінзами
Відношення фокусної відстані лінз 8 і 9 до діаметру їх отвору обрано в діапазоні 10 вЂ" 100. Зазначене відношення визначає енергетичний розкид електронів у пучку.
Для мінімізації енергетичного резерву електронів у пучку з метою отримання фокусної плями розміром
1-10 мкм дане відношення повинне перевищувати 10, що встановлено експериментально. Верхня межа діапазону вибрана з міркувань, пов'язаних з юстуванням лінз під час складання рентгенівської трубки. Іммерсійні лінзи 8 і 9 являють собою плоскі циліндричні електроди, виконані з килиму або нержавіючої сталі та мають центральний отвір діаметром 1 мм. Відстань між лінзами 8 та 9 становить 0,5 вЂ" 0,7 мм. Робоча поверхня прострельной мішені 12 розташована з відривом 15 мм від блиi0 жайшей до неї лінзи 9.
Мікрофокусна рентгенівська трубка працює наступним чином, При подачі електроживлення катод 2 емітує електрони,які формуються у вузьконаправлений пучок електродом 3 попереднього фокусування.
Силою струму і комутацією пучка управляє сітковий електрод 4, Під дією.
20 вієм електричного поля прискорюючого електрода,7 електронам повідомляється висока швидкість, величина якої залежить від потенціалу на електроді 7.
Після проходження прискорюючого електро25 трода 7 електрони потрапляють у простір дрейфу між електродом 7 і першою імерсійною лінзою 8. Залежно від напруг, індивідуально подаються на імерсійні лінзи 8 і 9, можна регулювати фокусуючі характеристики утвореної цими лінзами 8. Наприклад, можна оперативно переходити від роботи з фокусною плямою розміром 100-200 мкм до роботи з фокусною плямою розміром до 10 мкм.
Мікрофокусна рентгенівська трубка, що містить вакуумну оболонку, послідовно встановлені в ній катодний вузол, фокусуючу систему і анод, робоча поверхня якого розташована у фокусі фокусуючої системи, що відрізняється тим, що з метою розширення можливостей управління додатково введений прискорювальний електрод, встановлений між катод і фокусуючою системою, яка утворена двома послідовно розташованими циліндричними довгофокусними імерсійними лінзами, відстань між якими вибрана в діапазоні
0,1. 1,0 діаметра отвору в лінзах, а відношення фокусної відстані лінзи до діаметра отвору вибрано в діапазоні )0. 100.