Променевий тестер, Банк патентів
Винахід відноситься до засобів високолокального внутрішньосхемного контролю та вимірювань параметрів, інтегральних схем, наприклад, лазероскан, електронно-і іонно-променевим діагностичним системам.
Аналогом винаходу є пристрій, що складається із зондоформуючої системи з блоком живлення, об'єктоутримувача з механізмом переміщення, генератора розгорток з елементами відхилення променя, перетворювача інформаційного сигналу та індикаторний блок.
Недоліком аналога є складність діагностики чіпів на напівпровідниковій пластині до її поділу. Ця обставина обумовлена тим, що прототип не має системи контролю та управління позиціонуванням об'єкта контролю.
Прототипу властивий ряд недоліків. Позиціонування об'єктоутримувача щодо променя здійснюється механічно за допомогою приводу. Таке позиціонування, крім великої помилки (близько десятих часток мкм), характеризується також низькою продуктивністю і складністю конструктивного виконання, що вимагає застосування у складі прототипу складних і дорогих систем термостабілізації та пристроїв визначення похибки позиціонування зі зворотним зв'язком. Як правило, як такі датчики використовують лазерний інтерферометр. Для досягнення точностей позиціонування порядку десятих часток мкм прототип має бути забезпечений вкрай складним і дорогим електромеханічним приводом, що забезпечує таку точність.
Метою винаходу є підвищення точності тестера та спрощення його конструкції.
На фіг.1 наведена структурна схема променевого тестера; на фіг.2 - структурна схема спеціалізованого обчислювального пристрою, що входить до складу тестера; на фіг. 3 - структурна схема варіанта виконання блоку перетворення; на фіг.4 -структурна схема варіанти виконання блоку управління пристрою переміщення об'єктоутримувача; на фіг.5 та 6 - варіанти виконання блоку порівняння.
У першому варіанті передбачається традиційне виконання блоку керування 5, що містить генератори робочих імпульсів 29, 30, 31, які виробляють під дією зовнішньої команди крокові імпульси для керування кроковими двигунами (ШД), здійснюють переміщення об'єктоутримувача 3 за трьома координатами. Для електричного узгодження ШД та блоків 29-31, на виходах останніх розміщують помножувачі 26-28. У цьому випадку електричний зв'язок блоків 5 та 10 відсутня, а коригування числа кроків наступного переміщення здійснюється за допомогою СВУ 6.
У другому варіанті виконання блоку 5, відповідно до фіг.4 до складу блоку 5 введений процесорний блок 32. Керуючий сигнал на переміщення об'єктоутримувача 3, що надходить у блок 32, коригується сигналом, що подається в нього від блоку 10, а об'єктоутримувач 3 переміщають з урахуванням похибки позиціонування попереднього переміщення.
формула винаходу
6. Тестер з п.1, який відрізняється тим, що, з метою підвищення зручності експлуатації, блок управління механізмом приводу об'єктоутримувача містить три підсилювачі потужності, три генератори робочих імпульсів і блок контролера коригування, причому один вхід останнього з'єднаний з виходом блоку порівняння, а другий - з виходом блоку управління тестером, з іншим виходом якого з'єднаний вхід генератора робочих імпульсів, два входи блоку контролера коригування з'єднані з входом генераторів робочих імпульсів приводів, виходи робочих генераторів імпульсів через підсилювачі потужності з'єднані з відповідними їм приводами.
MM4A Дострокове припинення дії патенту України на винахідчерез несплату у встановлений термін мита за підтримку патенту в силі