Тонкоплівкова термопара
ОПИСАН І Е ())466399
До СВІДОЦТВОМ (61) Додаткове до авт. свид-ву (22) Заявлено 23.03.73 (21) 1896185/18-10 з приєднанням заявки №вЂ" (23) Пріоритет
Опубліковано 05.04.75. Бюлетень №13
Ради Міністрам СРСР (53) УДК 536.532(088.8) у справах винаходів та відкриттів (72) Автор винаходу
В. І. Нащіванка (71) Заявник (54) ТОНКОПЛЮННА ТЕРМОПАРА
Винахід відноситься до радіоелектронної промисловості та призначене для використання при виготовленні плівкових мікросхем.
Відомі тонкоплівкові термопари (ТПТП), які застосовуються для вимірювання поверхневої температури підкладок при вакуумному нанесенні тонких плівок зазвичай виготовляють з термоелектричних матеріалів.
Недоліками таких ТПТП є: мінімальна величина термо-е, д.с. (порядку 35 мкв/с), можливість виникнення паразитних термое.д.с. у місцях контактів, неможливість застосування ТПТП при нанесенні тонкоплівкових шарів на карусель підкладок, що обертається.
Мета пропонованого винаходу вЂ" зменшення інерційності.
Для досягнення мети термоелектроди нанесені на обидві сторони підкладки та з'єднані за допомогою напилених внутрішніх стінок отворів у підкладці, причому утворений спай на одній стороні підкладки.
На кресленні зображена плівкова термопара.
У підкладці 1 висвердлені отвори необхідного діаметру 2 (порядку 1 вЂ":2 мм), і на обидві сторони підкладки нанесені, наприклад, методом термічного випаровування у вакуумі плівкові термоелектроди 3 і 4 на основі сплавів Хромель вЂ" Копель, при цьому внутрішні стінки отвору 2 також запилені шаром цих матеріалів. Завдяки цьому здійснено контакт між плівковими шарами по обидва боки діелектричної підкладки. Тон5 коплювальні термоелектроди захищені шаромдіелектрика 5, що дозволяє проводити багаторазові напилення матеріалів на спай
ТПТП без порушення її працездатності.
До плівкових шарів на звороті під10 ложки приєднують, наприклад приварюють, дротяні висновки 6 з відповідних термоелектрод матеріалів.
Запропонована конструкція дозволяє забезпечити надійне знімання інформації як при
15 напиленні на окремі позиції, так і на карусель, що обертається, а також зменшити помилку при вимірюванні температури підкладки за рахунок виключення деяких паразитних термо-е.д.с. Завдяки використанню тонко20 плівкових термоелектродів на основі сплавів
Хромель вЂ" Капель можливе застосування
ТПТП для контролю за тепловими процесами при нанесенні тонких плівок на стандартному обладнанні підвищується значення термо25 е.д.с. (порядку 70 вЂ" 75 мкв/С). Пропонована конструкція дозволяє також здійснити контроль за поверхневою температурою в діапазоні до 500 С у вакуумі (вищі температури не досліджувалися) і контролювати швидкоплинні теплові процеси в ат46І99
Упорядник І. Ривкіна
Коректор Л. Денисова
Техред А. Камишнікова
Редактор М. Вірко
Замовлення 1609/13 Вид. № 625 Тираж 740 Передплатне
ЦНДІПД Державного комітету Ради Міністрів СРСР у справах винаходів та відкриттів
Москва, K-35, Рауська наб., д. 4/5
Типопафія, пр. Сапунова, 2 л1осферному середовищі при помірних температурах близько 200 С.
Тонкоплівкова термопара, що містить два плівкові термоелектроди і захисний шар, напилені на діелектричну підкладку з отворами, що відрізняється тим, що, з метою зменшення інерційності, термоелектроди нанесені на обидві сторони підкладки і з'єднані за допомогою напилених внутрішніх стінокотворів у підкладці, причому спай утворений на одній стороні підкладки.