Електронний мікроскоп, що сканує, з інтегрованою іонною колоною LYRA 3 FEG від Tescan, a
LYRA 3 FEG - зручне поєднання електронної та іонної колон на одній камері. Сфокусований іонний пучок як додаток до автоемісійного мікроскопа призначений для модифікації поверхні.
«Формула 1» у нанотехнологіях
СеріяLYRA була спроектована як універсальний прилад для дослідницької роботи та високотехнологічного застосування. Зручне поєднання скануючого електронного мікроскопа високої роздільної здатності та іонної колони з різними доповненнями відкриває широкі перспективи використання системи.
LYRA 3 FEG належить до третього покоління мікроскопівTescan, в якому враховані всі результати останніх 20 років у дослідженнях, розробці та виробництві скануючих електронних мікроскопів, аксесуарів для СЕМ та інших спеціалізованих продуктів.
Швидкий, як ніколи раніше
Нове покоління дозволяє користувачеві насолодитися останніми досягненнями сучасних технологій: новітньою електронікою для швидкого накопичення та обробки високоякісних зображень, високошвидкісною системою сканування з компенсацією статичних та динамічних спотворень. Сучасний пристрій електронно-оптичної колони з унікальною технологією In-Flight Beam Tracing™ для контролю та оптимізації робочих характеристик та параметрів електронного пучка в реальному часі робить результати ще стабільнішими.
Нове програмне забезпечення
Одне з головних завдань розробки таких систем – створення програмного забезпечення з інтуїтивним і дружнім інтерфейсом управління, зручного як початківців, так досвідчених користувачів.
Нинішнє, третє покоління мікроскопівпоставляється з новим ПЗ, що максимально відповідає цим вимогам. Вбудована система самодіагностики, процедури автоматичного налаштування та оптимізації параметрів для забезпечення стабільності роботи системи у вибраному режимі.
Проста для вивчення вбудована мова програмування відкриває доступ до більшості елементів програмного забезпечення для управління мікроскопом, а також дозволяє створювати власні процедури автоматизації.
Нова версія модуля DrawBeam – потужний інструмент для нанолітографії.
Моделі LYRA 3
LYRA 3 пропонується у двох основних варіантах виконання:
- високовакуумна модель (XMH)
- модель для роботи при змінному вакуумі у камері (XMU)
Додатки
Для кожної моделі доступний величезний вибір опціональних доповнень та аксесуарів:
- система інжектування газів,
- наноманіпулятори,
- системи аналізу складу,
- переривник пучка,
- різні модулі ПЗ.