Манометри з тензоперетворювачами (тензорезисторні манометри)
Рис.2.11 Схема вимірювального перетворювача тисків ДІ
Прилади випускаються в декількох модифікаціях, призначених для вимірювання надлишкового тиску (ДІ), вакууму (ДВ), надлишкового тиску та вакууму (ДІВ), абсолютного тиску (ТАК), різниці тисків (ДД), гідростатичного тиску (ДГ).
Іонізаційні манометри
Іонізаційні манометри- найбільш чутливі вимірювальні прилади для дуже низьких тисків. Для вимірювання тиску в діапазоні 10-1 …10-8 Па використовуються іонізаційні манометри. Вони вимірюють тиск опосередковано через вимірювання іонів, що утворюються при бомбардуванні газу електронами. Чим менша щільність газу, тим менше іонів буде утворено. Термоелектрони стикаються з атомами газу і генерують іони. Іони притягуються до електрода під відповідним напругою, відомим як колектор. Струм у колекторі пропорційний швидкості іонізації, яка є функцією тиску в системі. Таким чином, вимірювання струму колектора дозволяє визначити тиск газу. Є кілька підтипів іонізаційних манометрів.
Більшість іонних манометрів поділяються на два види: гарячий катод і холодний катод. Третій вигляд — це манометр з ротором, що обертається, більш чутливий і дорогий, ніж перші два. У разігарячого катоданитка напруження, що електрично нагрівається, створює електронний промінь. Електрони проходять через манометр та іонізують молекули газу навколо себе. Іони, що утворюються, збираються на негативно зарядженому електроді. Струм залежить від кількості іонів, яке, у свою чергу, залежить від тиску газу. Принцип манометра з холодним катодом той же, виключаючи, що електрони утворюються в розряді створеним високовольтним електричним розрядом.
Схема іонізаційного манометра з гарячимкатодом представлено на рис. 2.12. Основним елементом манометра є скляна манометрична лампа, що містить катод1,який знаходиться всередині анодної сітки2, оточеної циліндричним іонним колектором3.
Мал. 2.12 Схема іонізаційного манометра
Електрони, що ежектуються розжареним катодом прискорюються позитивною напругою, прикладеною між анодом і катодом. Під час руху електрони іонізують молекули розрідженого газу. Позитивні іони потрапляють на негативно заряджений колектор3.За сталості анодної напруги та електронної емісії величина колекторного струму Iк залежить від вимірюваного тиску.