П’єзорезистивний ефект - Реферати статті публікації - ОСВІТА ПЛАЗА

л = 4, 5, 6) (і таке саме співвідношення, що зв'язує Р^ з Pkimn)> a mlv c mkipq - співвідношенням (kl

v=\, . 6); при цьому формули G5.6) набувають вигляду G5.8) Загальний вигляд тензорів такої внутрішньої симетрії для всіх кристалографічних і граничних класів наведено в табл. Д. 19. Рис. 75.1. Моделі вказівних поверхонь поздовжнього п'єзорезистивного ефекту у кристалах кремнію (клас тЗт): а) кристал n-типу, р = 11,7 Ом-см; б) кристал р-типу, р = 7,8 Ом «див. Це верхні половини поверхонь, нижні - їх дзеркальні відбиття (Бутабаєв і Смислів, 1971). При практичних застосуваннях п'єзорезистивного ефекту вимірюються різниця потенціалів V у напрямку одиничного вектора та сила струму /. Тоді щільність струму j = (I/S)qt де q - одиничний вектор напряму струму, a S-площа поперечного перерізу тензорезистора. Оскільки V = аЕ-і, де а — база вимірювання різниці потенціалів, з рівняння G5.3) отримаємо U=(al/S) pjkU[ (bkl+Uk[mncmn) qh G5.9) Зокрема, якщо вимірювати різницю потенціалів у напрямку струму, вектори і q збігаються; для кристалів з ізотропним електроопіром це дає U = (9oal/S) (I +nklmnqkqiomn). G5.10) Може виявитися кращим, щоб різниця потенціалів була пропорційна механічним напругам і зверталася в нуль за їх відсутності. 48fi ефекти вищих порядків ррл тх При ізотропному електроопорі для цього потрібно, щоб вектори і і q були взаємно перпендикулярні; тоді U = (90aIlS)nklmnukq,omn (щд, = О) G5.11) (в загальному випадку напрямки а і q підбираються так, щоб plkuiqk = 0). Подальша конкретизація цих формул визначається орієнтуванням механічних напруг щодо напрямку струму та напрямки вимірювання різностіпотенціалів. Так, при збігу напрямків струму, вимірювання різниці потенціалів і одновісного розтягування а = aqq має місце поздовжній п'єзорезистивний ефект £/ = (p0a//S) (I +oUklmnqkqiqmqn)f G5.12) а при взаємній перпендикулярності векторів а і q і збігу напрямку одноосного розтягування з одним з них (скажімо, з q) U = (p°aI/S)onklmnUkqiqmqn (і/

---