Топологічний креслення - Велика Енциклопедія Нафти та Газа, стаття 1
Топологічний креслення
Топологічні креслення визначають орієнтацію та взаємне розташування елементів та контактів ІС на підкладці, а також форму та розміри плівкових елементів та з'єднань між ними. Геометрична форма плівкових елементів по можливості повинна бути простою, так як це спрощує їх виробництво, збільшує точність виготовлення та надійність. [2]
Топологічні креслення виконуються у масштабах збільшення 100: 1, 200: 1, 400: 1, що дозволяють забезпечити наочне розташування елементів. [4]
Топологічний креслення виконують відповідно до ескізу на міліметровому папері у вибраному масштабі. Топологію зазвичай проектують у прямокутній системі координат. Кожен елемент топології повинен бути замкненою фігурою, сторони якої складаються з прямих ліній, паралельних осям координат. Надання елементам форм, які з прямих ліній, не паралельних осям координат, припустимо лише тоді, коли це призводить до значного спрощення конфігурації. Наприклад, якщо форма елемента є ламаними лініями, складеними у вигляді сходів з дрібним кроком, то рекомендується замінити їх однією прямою лінією. Координати всіх точок, розташованих у вершинах кутів ламаних ліній, мають бути кратні кроку координатної сітки. Мінімальний крок, прийнятий при кресленні топологічного креслення, становить 05 мм. Справжня величина кроку координатної сітки залежить від обраного масштабу топології. [5]
Топологічні креслення визначають орієнтацію та взаємне розташування елементів та контактів ІС на підкладці, а також форму та розміри плівкових елементів та з'єднань між ними. Геометрична форма плівкових елементів по можливості повинна бути простою,так як це спрощує їх виробництво, збільшує точність виготовлення та надійність. [7]
Топологічний креслення кожного функціонального елемента (фрагмент) розробляється конструктором на основі елементів одного або кількох осередків. При цьому повинні враховуватися конструктивно-технологічні обмеження та приватні технічні вимоги, що визначаються особливостями подальшого трасування електричних зв'язків, розташуванням та підключенням шин живлення та заземлення, загальні для всіх елементів рекомендації щодо розташування входів та виходів. Зазвичай фрагменти мають прямокутну форму. Для підвищення щільності компонування функціональних елементів на кристалі та спрощення процесу проектування один або обидва розміри всіх фрагментів повинні бути однаковими. [8]
Топологічний креслення має відповідати принципової електричної схеми. Він повинен бути складений таким чином, щоб для виготовлення мікросхеми була потрібна найбільш проста і дешева технологія. [9]
Топологічні креслення сучасних БІС складаються з компонентів, що описуються координатами приблизно 20 тис. пікселів, а ЗУ - до 600 тис. пікселів. Очевидно, що розкладання вручну загального виду такої топології на технологічні шари неминуче призводить до помилок на різних операціях і до невиправданого подовження розробки мікросхем. [10]
Пошарові топологічні креслення (рис. 4.13 - 4.15) супроводжуються таблицями, у яких вказуються координати конфігурації кожного елемента даного шару. Ці креслення є вихідним документом виготовлення фотошаблонів і масок. [11]
Топологічний креслення мікросхеми це конструкторський документ, що визначає орієнтацію та взаємне розташування всіх елементів мікросхеми на площі підкладки, а також форму та розмірипасивні елементи. [13]
Пошарові топологічні креслення (рис. 4.7 - 4.9) супроводжуються таблицями, у яких вказуються координати конфігурації кожного елемента даного шару. Ці креслення є вихідним документом виготовлення фотошаблонів і масок. [14]
Топологічні креслення мікросхеми виконуються, зазвичай, у прямокутної системі координат. На міліметровому папері в масштабі 10:1 (або 20:1) викреслюються ділянки плівок кожного шару. Далі виготовляються креслення кожного шару. [15]