Установка та спосіб для вакуумної обробки виробів
Власники патенту UA 2606105:
Винахід відноситься до установки для вакуумної обробки виробів та способу вакуумної обробки з використанням згаданої установки. Заявлена установка варта обробки виробів, закріплених на каруселі (205), розміщеної на карусельних санках (201). Вказана карусель містить вакуумну камеру (303) з дверцятами (305) та привід (101). Вакуумна камера має щонайменше один задній упор (309) і щонайменше один передній упор (311), які при повному введенні карусельних санчат (201) у вакуумну камеру (303) і при закритих дверцятах (305) забезпечують кінематичний зв'язок приводу ( 101) каруселі з каруселлю (205). Привід (101) каруселі розташований у вакуумній камері (303) на стінці, що протилежить дверцят (305). Згаданий спосіб включає введення карусельних санчат (201) з розміщеною на них каруселлю (205) у відкриті дверцята (305) вакуумної камери (303), закриття дверцят (305) вакуумної камери (303), її відкачування та здійснення вакуумної обробки. Карусельні санки (201) з розміщеною на них каруселлю (205) із закріпленими на ній виробами попередньо поміщають на рейки візки і підводять цей візок з розміщеною на ній згаданою каруселлю до відкритих дверцят (205) вакуумної камери (303). Після закриття вказаних дверцят (305) карусельні санки (201) фіксують за допомогою згаданих щонайменше одного заднього упору (309) і щонайменше одного переднього упора (311). Забезпечується просте приєднання каруселі до її приводу. 2 зв. та 2 з.п. ф-ли, 4 іл.
Даний винахід відноситься до установки для вакуумної обробки з пристосуванням для кріплення виробу, причому пристосування для кріплення виробу виконано у вигляді каруселі таким чином, що вироби в ході процесуОбробки проводяться повз джерел обробки, для чого карусель обертається навколо своєї осі. При цьому вироби можуть бути змонтовані на каруселі таким чином, щоб вони при обертанні каруселі виконували одноразове або багаторазове, наприклад, дво- або трикратне обертання. Згідно з рівнем техніки, зазвичай карусель приводиться в обертання через свою центральну вісь.
Перед обробкою виробів у вакуумній установці пристрій для кріплення виробу має бути оснащений виробами. Після обробки вироби повинні вилучатися із пристосування для кріплення виробу. Це може здійснюватися безпосередньо в установці. Однак відомо, що для спрощення установки та знімання виробів карусель у вакуумній камері встановлюють таким чином, щоб для встановлення виробів і для знімання оброблених виробів карусель могла вилучатися з вакуумної камери повністю. Це робиться, наприклад, за допомогою автонавантажувача.
Згідно з іншою відомою спеціалістом концепцією карусель встановлюється на основній рамі з колесами, так щоб вона за допомогою транспортного засобу, що підводиться до вакуумної установки, могла бути засунута в установку. Надалі така карусель, з колесами, називається карусельними санками. Потім основна рама карусельних санчат фіксується у вакуумній установці, а центральний привід приєднується до осі каруселі. При цьому недолік полягає в тому, що для цього необхідний складний механізм зчеплення, оскільки привід, з одного боку, не повинен опинитися на шляху засунення каруселі у вакуумну установку, а з іншого боку він повинен входити в зачеплення з центральною віссю каруселі для її приведення. у обертання. Проблема полягає в тому, що вся механіка повинна мати вакуумміцне виконання.
Бажано мати у розпорядженні пристрій, що забезпечуєпросте приєднання каруселі до її приводу. Це завдання покладено основою винаходу.
Згідно винаходу ця задача вирішується за рахунок того, що для каруселі вибирається не центральний привід, а через її периферію, відповідно через периферію каруселі. Згідно винаходу вакуумна камера має щонайменше один задній упор і щонайменше один передній упор, які при повному всуненні карусельних санок у вакуумну камеру і при закритих дверцятах забезпечують кінематичний зв'язок приводу каруселі з каруселлю, причому каруселі привід розташований у вакуумній камері на її стінці протилежні дверцята.
Згідно винаходу привід, передбачений з боку, протилежної отвору установки для вакуумної обробки, містить зубчастий вінець, а карусель - зовнішній зубчастий вінець, так що при повному входженні карусельних санчат у вакуумну камеру і при закритих дверцятах зубчастий вінець приводу каруселі входить в зачеплення із зовнішнім зубом вінцем каруселі і виявляється в змозі наводити карусель у обертання.
Згідно з одним виконанням винаходу передбачено, що згаданий щонайменше один передній упор виконаний рухомим, переважно поворотним, так що він при введенні карусельних санчат виконаний з можливістю прибирання з шляху, а при закритті дверцята згаданий щонайменше один передній упор виконаний з можливістю розміщення між дверцятами та санчатами каруселі, так що карусельні санки зафіксовані у вакуумній камері.
Іншим аспектом винаходу є спосіб вакуумної обробки виробів, при здійсненні якого та для здійснення якого використовується просте приєднання каруселі до її приводу і тим самим вирішуються проблеми відомого рівня техніки. Вказаний спосіб вакуумної обробки виробів,які закріплені на каруселі, розміщеній на карусельних санках, включає наступні етапи: введення карусельних санок з розміщеною на них каруселлю у відкриті дверцята вакуумної камери, закриття дверцят вакуумної камери, відкачування вакуумної камери і здійснення вакуумної обробки. При цьому карусельні санки з розміщеною на них каруселлю із закріпленими на ній виробами попередньо поміщають на рейки візки і підводять цей візок з розміщеної на ній згаданої каруселлю до відкритих дверцят вакуумної камери, а після закриття зазначених дверцят карусельні санки фіксують за допомогою щонайменше одного і щонайменше одного переднього упору, які передбачені у вакуумній камері, так що карусель, розміщена на карусельних санках, кінематично з'єднується з приводом каруселі, розташованим на стінці, що протилежить стінці вакуумної камери.
Винахід докладно пояснюється з прикладу з посиланням на креслення.
Фіг. 1 зображує вигляд зверху пристрою згідно винаходу із засунутими карусельними санчатами та закритими дверцятами.
Фіг. 2 зображує вид зверху візка, навантаженого карусельними санками.
Фіг. 3 зображує показану на фіг. 2 візок, підведений до відкритої вакуумної камери.
Фіг. 4 зображує карусельні санки на півдорозі у вакуумну камеру.
Згідно з кращим варіантом здійснення цього винаходу у вакуумній камері передбачені рейки, якими можуть спрямовано котитися колеса.
На фіг. 2 зображені карусельні санки 201 на візку 203. Карусельні санки 201 містять карусель 205 і основну раму 207. Карусель 205 містить обертовий стіл 209 із зовнішнім зубчастим вінцем 211, з допомогою якого карусель 2. Крімтого, карусель 205 згідно з цим варіантом здійснення містить систему 213 зубчастих коліс, на яких змонтовані (не показані) пристрої для завантаження виробів. Основна рама містить 207 колеса 215, виконані з вакуумміцного матеріалу. Переважно, колеса виконані з керамічного матеріалу, так що вони, навіть будучи частково схильні до покриття матеріалом в процесі нанесення покриття, довгий час виконують своє завдання без обслуговування.
На візку 203 передбачені дві рейки 217, якими можуть пересуватися колеса 215 карусельних санок. Обидві рейки перериваються відповідним шарніром 219, тому вони можуть відкидатися вгору. Переважно, на відкидній частині, що з'явилася таким чином, передбачена рукоятка 221 для обслуговування відкидної частини. На іншому кінці рейок 217 передбачені упори 225 для візка. Крім того, на візку передбачені колеса 223, так що візок 203 може підсуватися до вакуумної камери простим способом. Це показано на фіг. 3. Для більшої наочності опущені кілька позицій, що відносяться до візка 203 і карусельних санчат 201. Вакуумна камера 303, зображена на фіг. 3, показана з відкритими дверцятами 305. Візок 203 підсунутий до вакуумної камери 303 таким чином, що при відкидній частині, відкинутій вниз, кінці рейок примикають до передбачених у вакуумній камері пов'язаних деталей, тобто. до рейок 307 вакуумної камери, так що карусельні санки 201 можуть вводитися у вакуумну камеру 303. Відповідне «введення» показано на фіг. 4. На рейках вакуумної камери передбачені задні упори 309 і передні упори 311. Передні упори 311 виконані поворотними, так що вони при підведенні візка 203 до відкритої вакуумної камери 303 і при введенні карусельних санок 201 у вакуумну камеру 303шляхи. Коли карусельні санки 201 засунуті у вакуумну камеру 303 повністю, інший зубчастий вінець 211 карусельних санчат входить в зачеплення з зубчастим вінцем 103 приводу 101 каруселі, передбаченого на стінці, що протилежить дверцят 30 чатий вінець 211 каруселі 205 від надмірного взаємопроникнення (входження один до одного). Тепер для закриття вакуумної камери 303 передні упори 311 повертаються та дверцята 305 закривається. При закритих дверцятах 305 її тиск на передні упори 311 тепер забезпечує їх тиск на карусельні санки, так що зубчастий вінець 103 101 приводу каруселі і зубчастий вінець 211 каруселі входять один в одного досить глибоко. Таким чином, згідно з цим варіантом здійснення взаємодія дверцят 305, передніх упорів 311, карусельних санок 201, задніх упорів 309 забезпечує оптимальну кінематичну зв'язок зубчастого вінця 103 приводу 101 каруселі і зубчастого вінця 211 каруселі 205 для каруселі 205.
Тепер вакуумна камера 303 установки для обробки у вакуумі може відкачуватися, привід каруселі 101 може підключатися і може здійснюватися етап вакуумної обробки.
Установкою для обробки у вакуумі може бути, наприклад, установка нанесення покриттів. Це може бути, наприклад, установка для фізичного (PVD) та/або хімічного осадження (CVD) із газової фази. Однак мова може йти також (можливо, додатково) про травильні установки, наприклад, для очищення та/або активації поверхонь. За допомогою цієї установки завантаження та розвантаження до або після процесу обробки в порівнянні з рівнем техніки суттєво спрощуються. Особливу перевагу має варіант здійснення, при якому карусель і привід каруселі приєднуються.один до одного простим способом та без додаткових механізмів.
1. Установка для вакуумної обробки виробів, закріплених на каруселі (205), розміщеної на карусельних санках (201), що містить вакуумну камеру (303) з дверцятами (305) і привід (101) каруселі, що відрізняється тим, що вакуумна камера має щонайменше принаймні один задній упор (309) і щонайменше один передній упор (311), які при повному введенні карусельних санок (201) у вакуумну камеру (303) і при закритих дверцятах (305) забезпечують кінематичний зв'язок приводу (101) каруселі з каруселлю (205), причому привід (101) каруселі розташований у вакуумній камері (303) на її стінці, що протилежить дверцятам (305).
2. Установка за п. 1, яка відрізняється тим, що привід (101) каруселі містить зубчастий вінець (103), а карусель (205) – зовнішній зубчастий вінець (207), так що при повному входженні карусельних санок (201) у вакуумну камеру (303) та при закритих дверцятах (305) зубчастий вінець (103) приводу каруселі входить у зачеплення із зовнішнім зубчастим вінцем (207) каруселі (205).
3. Установка за п. 1 або 2, що відрізняється тим, що згаданий щонайменше один передній упор (311) виконаний рухомим, переважно поворотним, так що він при введенні карусельних санок (201) виконаний з можливістю забирання з колії, а при закритті дверцята (305) згаданий щонайменше один передній упор (311) виконаний з можливістю розміщення між дверцятами (305) та санчатами (201) каруселі, так що карусельні санки (201) зафіксовані у вакуумній камері (303).
4. Спосіб вакуумної обробки виробів, які закріплені на каруселі (205), розміщеної на карусельних санках (201), що включає наступні етапи:
- введення карусельних санок (201) з розміщеною на них каруселлю (205) у відчинені дверцята(305) вакуумної камери (303),
- закриття дверцят (305) вакуумної камери (303), відкачування вакуумної камери та здійснення вакуумної обробки,
відрізняється тим, що карусельні санки (201) з розміщеною на них каруселлю (205) із закріпленими на ній виробами попередньо поміщають на рейки візки і підводять цей візок з розміщеною на ній згаданою каруселлю до відкритих дверцят (205) вакуумної камери (303), а після закриття зазначених дверцят (305) карусельні санки (201) фіксують за допомогою щонайменше одного заднього упору (309) і щонайменше одного переднього упора (311), які передбачені у вакуумній камері (303), так що карусель (205), розміщена на карусельних санках (201), кінематично з'єднується з приводом (101) каруселі, розташованим на стінці вакуумної камери, що протилежить дверцят (305).