Контурні діаграми

Установки вимірювання поверхневого опору являють собою автоматизовані системи збору, запису, аналізу та подання даних щодо поверхневого питомого опору. Вони дозволяють проводити вимірювання у великій кількості областей на пластині, що використовуються для реєстрації неоднорідностей по пластині поверхневого опору монокристалічних дифузійних, епітаксійних та іоннолегованих шарів кремнію, полікристалічних шарів кремнію та шарів металів.

Такі установки забезпечують різні варіанти вимірювання поверхневого опору, наприклад, такі як:

Дані контурної діаграми збираються у вигляді стандартних наборів 49, 81, 255, 361, 441 або 625 областей. Одна область вимірювання знаходиться в центрі пластини, а інші розташовані на концентричних кіл на однакових один від одного відстанях. Відстань між колами визначається діаметром тестування, при цьому діаметр зовнішнього кола дорівнює діаметру тестування.

К

кількість використовуваних кіл залежить від обраного набору точок вимірювання. Кількість кіл для 49 точок вимірювання дорівнює 3, для 81-4, для 225-7 і т.д.

Два параметри впливають побудова контурної діаграми.

Контурний інтервал, що визначає інтервал між ізолініями і виражається у відсотках від середнього значення.

Критерій сортування, що використовується для виключення з контурної діаграми всіх значень, що не потрапляють в інтервал, – середнє значення  NSigma, де критерій сортування дорівнює NSigma.

Жирна темна лінія на контурній діаграмі (рис.1.10) показує середнє значення R s на пластині. Знак «+» показує область, виміряне значенняRs у якій перевищує середнє значення, кожензнак «» показує точку, виміряне значенняRs у якій менше середнього значенняRs.

А

втоматизовані системи вимірювання поверхневого опору дозволяють представляти результати вимірювання і у вигляді квазітривимірних діаграм. Типовий вигляд однієї з таких діаграм представлений малюнку1-11.

Площина, що оточує по периметру діаграму, показує середнє значення поверхневого опору напівпровідникового шару. Області вище та нижче цієї площини показують значення поверхневого опору, які, відповідно, більше і менше середнього значення поверхневого опору.

Діаграми розподілу по діаметру

У цьому режимі дані вимірюються при проході діаметром пластини в зазначеному користувачем напрямку. По діаметру на однакових відстанях один від одного розташовується 49, 81, 255, 361, 441 або 625 точок виміру; діаметр на якому виконуються виміри, вказується користувачем. Ці точки розташовані на однакових відстанях одна від одної і знаходяться на одному відрізку діаметра, при цьому з обох боків від центру пластини знаходиться однакова кількість точок. Відстань між окремими точками вимірювання визначається діаметром тестування, який вказується користувачем для кожного випробування. Одним із параметрів даної діаграми є кут проходу, який визначає напрямок проходу по діаметру. Цей кут вказує напрямок проходу на пластині по відношенню до верхньої частини пластини.

---